产品描述
PK3L80-080U是一款超紧凑的亚纳米闭环控制扫描台,每个轴都经过机械预加载。独特的产品设计非常紧凑,在XYZ运动轴上的运动均可达80µm(闭环)行程,并且由于柔性机械设计而实现了无间隙的平行运动。其紧凑的设计使其是许多应用的理想工具,例如:光纤对准、双光子聚合和激光写入应用等。
可以选择使用集成的SGS测量系统来克服迟滞的影响,并且PK3L80-080U定位系统可以配备电容测量系统,PK3L80-080U压电扫描台可以轻松地与其他机械定位系统结合使用。压电扫描台是为了满足超精密定位应用的需求。该平移台采用压电陶瓷驱动,以柔性铰链为导向使其结构紧凑、具有无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。
PK3L80-080U系列非常适合从光学研究到OEM系统的各种应用。非常适合即要求有孔径又对体积有限制的应用。
本系列产品种类包括X、Z、XZ、XY、XYZ轴运动系统版本。请参照相关型号介绍。
产品特性
—XYZ位移:80μm(闭环)
—中孔尺寸:45x45mm
—最大承载能力:0.6Kg
—紧凑型设计
—高精度柔性导向
选配功能
—可定制转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系