R-14制冷剂,别名R14、氟利昂14、PFC-14,商品名称有Freon 14等,中文名称四氟化碳、四氟甲烷,英文名称Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane,分子式CF4。R-14属于FC类物质——对臭氧层没有破坏、但存在温室效应;目前对于R14制冷剂的生产、销售以及在新制冷设备上的初装、售后设备上的再添加均没有限制。 R-14主要用途 R-14作为一款特种超低温制冷剂,主要应用于要求温度非常低的深冷设备中(包括科研制冷、医用制冷等),R14同时也是超低温配合冷媒的重要组分。四氟化碳(四氟甲烷)是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。 R-14物化性质冷媒名称R14 分子量 88.0 沸点(1atm),℃ -128 临界温度,℃ -45.67 临界压力,kPa 3740 饱和蒸气压(25℃),kPa 3650(-45.6℃)汽化热/蒸发潜热(沸点下,1atm),kJ/kg 破坏臭氧潜能值(ODP) 0 全球变暖潜能值(GWP,100 yr) 5700 ASHRAE安全级别 A1(无毒不可燃) R-14冷媒包装可重复使用高压钢瓶包装(需回收包装钢瓶):8kg/瓶,30kg/瓶。 R-14储存、运输 R-14制冷剂钢瓶为高压容器,储存时应远离火种、热源、避免阳光直接曝晒,通常储放于阴凉、干燥和通风的仓库内;搬运时应轻装、轻卸,防止钢瓶以及阀门等附件破损。
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